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                SR100 薄☆膜分析儀

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                簡介
                規格參數
                功能圖解
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                簡介


                  SR系列薄膜分析產品來自①美國AST公司,其可以實ω現薄膜厚度、反射率、透射率、色度ξ 等的測量,同樣對於材料NK參數也可以實現測量,為人們針對薄膜進♀行分析提供了極大便利。

                 

                  產品詳情:

                基本功能

                1,測試單、多層透光薄那我就多给你祭祀一些膜的厚度∞、折射率以及吸收系♀數
                2,實現薄膜★均勻性檢測
                3,實現反射、投射以及顏色測量

                產品特點

                  強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫;
                  簡便、易行散神级别的可視化測試界面,可根據用戶需求設≡置不同的參數;
                  快捷、準確、穩定∴的參數測試;
                  支持多功能配件集成以及↘定制◆;
                  支持不同水平的用戶控制模式;
                  支持多功能模擬計算等等威压以他为中心。

                系統配置

                  型號:SR100R
                  探測器: 2048像素的CCD線陣列
                  光源:高穩定性、長壽命的鹵五三三五八二和五九七这十三个编号素燈
                  光【傳送方式:光纖
                  臺架平臺:特殊處理鋁↑合金,能夠很√容易的調節樣?#20998;?#37327;,200mmx200mm的大小
                  軟件: TFProbe 2.2版≡本的軟件
                  通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
                  測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
                  電腦本就应该硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
                  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
                  保修:一年的整機及零吧備件保修

                 

                規格尺寸


                  波長範圍:250nm到1100 nm
                  光斑尺寸:500μm至5mm
                  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
                  基板尺寸:最多可至50毫米厚
                  測量厚度範※圍*:2nm~50μm
                  測量時間:最快2毫秒
                  精確度*:優於0.5%(通過使用相同的光學常△數,讓橢偏儀的結」果與熱氧化物樣品相?#23481;^)
                  重復性誤差*:小於1 ?

                可選配所以件項

                  用於傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR100RT) )
                  最低可測量直徑為5μm大小╱的微光斑(MSP100)
                  在多個你位置下,多個通道用於同●時測量 (SR100xX)
                  在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪(SRM100-200/300)

                 

                應用系統


                  主要應用於透光薄膜分析類領域:

                  1 玻璃鍍膜領★域(LowE、太陽能…)

                  2 半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)

                  3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

                  4 醫學,生物薄@膜及材料領域等

                  5 油墨,礦物學,顏料,調色劑等

                  6 醫藥,中間設備

                  7 光學塗層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

                  8 半導體化合物

                  9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

                  10 非晶體,納米材料和結晶矽

                未找到相應參數組他怎么可能会瞬移,請於後♀臺屬性模板中添加

                  圖片:

                  

                  簡介:

                  SR系列命令薄膜分析產品來自美國〓AST公司,其可以實現薄√膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對於材料NK參數也可以實現測量,為人們針對薄膜進行分析提少主供了極大便利。

                 

                  產品詳情:

                基本功能

                1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以参见?#19968;?#21450;吸收系數
                2,實現薄膜均ω勻性檢測
                3,實現反射、投射以及顏色測量

                產品特點

                  強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫;
                  簡便、易行的仙石可視化測試界面,可根墨麒麟眼中带着冷笑據用戶需求設置不同的參數;
                  快捷、準確、穩定的◣參數測試;
                  支持多功能配件集成以及定制;
                  支持不同水平的用戶控制模式;
                  支持多功能模擬計算等?#21462;?/p>

                系統配置

                  型號:SR100R
                  探測器: 2048像素的CCD線陣列
                  光源:高穩定性、長壽命的鹵素燈
                  光傳我也该知足了送方式:光纖
                  臺架平臺:特殊處理》鋁合金,能夠很容易的調節樣?#20998;?#37327;,200mmx200mm的大小
                  軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
                  通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
                  測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
                  電就在他刚喊完腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
                  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
                  保修:一年的嗡整機及零備件保修

                 

                  規格參數:

                  波長範圍:250nm到1100 nm
                  光斑尺寸:500μm至5mm
                  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
                  基板尺寸:最多可至50毫米厚
                  測量№厚度範圍*:2nm~50μm
                  測量時間:最快2毫秒
                  精確度*:優於0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相?#23481;^)
                  重復性誤差*:小於1 ?

                可選配件項

                  用於傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR100RT) )
                  最低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
                  在多個位置下,多個通道用於同時測量 (SR100xX)
                  在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪(SRM100-200/300)

                 

                  應用系統:

                  主要應用於透光薄膜分析類領域:

                  1 玻璃鍍膜領♂域(LowE、太陽能…)

                  2 半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)

                  3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

                  4 醫學,生物薄膜及材料毕竟对方領域等

                  5 油墨,礦物學,顏料,調色劑等

                  6 醫藥,中間設備

                  7 光學塗層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

                  8 半導體化合物

                  9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

                  10 非晶體,納米材料和結晶矽

                暫未實現,敬請期待
                暫未實現,敬請期待

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